8英寸“超越摩尔” 研发中试线近日获得验证通过

记者最新获悉，上海微技术工业研究院（简称“工研院”）运营的8英寸“超越摩尔”研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过，这标志着研发中试线通线成功。

超越摩尔即新摩尔定律（morethanmoore），是指在半导体技术延续摩尔定律发展的同时，利用成熟制程，结合微机电技术（MEMS）、光电技术等开辟一条新的半导体发展路径。“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础。

作为创新型功能平台，工研院立足国内集成电路研发和产业基地上海嘉定，构建了国内首条、兼容CMOS的8英寸研发中试线，旨在进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展，完善国内超越摩尔产业生态链布局，助力创新研发。

据悉，该研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族（第三代半导体）、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

上海微技术工业研究院总裁杨潇表示，这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段；未来，研发中试线将持续发力，在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发，进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。

资料显示，上海微技术工业研究院致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化。作为全球性的协同创新中心，工研院集研发、工程、孵化于一体，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。目前，工研院已和国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”技术和物联网的生态系统建立。